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石英坩堝使用中常見問題和解決方法
上傳時(shí)間:2021年02月25日 14:46:41
  一 引言

  在Cz法單晶的制備中,佑鑫石英石英坩堝作為熔硅的載體有著其不可替代的作用。了解石英坩堝的特性和掌握正確的方法對(duì)所有從事單晶制備的每一位從業(yè)人員來說都是非常重要的。

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  二 石英坩堝的特性(主要介紹熱學(xué)性能和結(jié)晶性能)

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  1. 熱學(xué)性能:

   熱學(xué)性能主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面
 ?。?)    它的形變點(diǎn)為1075℃
 ?。?)    它的軟化點(diǎn)為1730℃
  (3)    其最高連續(xù)使用溫度為1100℃,短時(shí)間內(nèi)為1450℃。

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  2. 結(jié)晶性能

 ?。?) 石英坩堝在高溫下具有趨向變成二氧化硅的晶體(方石英)。佑鑫石英這個(gè)過程稱為再結(jié)晶,也稱為“失透”,通常也稱為“析晶”。

 ?。?) 析晶通常發(fā)生在石英坩堝的表層,按照中國(guó)石英玻璃行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定,佑鑫石英半導(dǎo)體工業(yè)用石英玻璃在1400℃±5℃下保溫6小時(shí),其析晶層的平均厚度應(yīng)為﹤100μm 。

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